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真空泵是通過(guò)機(jī)械、物理、化學(xué)等多種方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件設(shè)備。真空泵的工作原理可以分為氣體捕集泵和氣體傳輸泵兩種類(lèi)型，真空泵常見(jiàn)抽取真空技術(shù)可分為機(jī)械法和物理法。

一、機(jī)械法

1、變?nèi)菡婵毡?，是利用泵腔容積的周期變化來(lái)完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的。這種泵分往復(fù)式、旋轉(zhuǎn)式兩種。

2、動(dòng)量傳輸泵，它依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹?。分子真空泵水蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵屬于這一類(lèi)。

二、物理法

氣體捕集式真空泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵，有以下幾種形式：

1、吸附泵。依靠具有大表面積的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵。

2、吸氣劑泵。它是一種利用吸氣劑以化學(xué)方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。

3、吸氣劑離子泵。它是使被電離的氣體通過(guò)電場(chǎng)或電磁場(chǎng)的作用吸附在吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的。它有如下兩種形式。

a、蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。

b、濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺散出來(lái)的吸氣材料上以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。