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真空泵除主要的特性，極限壓力，流量和抽氣速率以外，還有一部分專用名詞表述泵的相關(guān)性能和參數(shù)。

1、啟動壓力。泵無受損運(yùn)行并有抽氣作用時的壓力。

2、前級壓力。排氣壓力低于101325Pa的真空泵的出口壓力。

3、最大工作壓力。相應(yīng)最大流量的入口壓力。在這個壓力下，泵能持續(xù)作業(yè)而不惡化或受損。

4、最大前級壓力。超出它能使泵受損的前級壓力。

5、何氏系數(shù)。泵抽氣通道面積上的實(shí)際上抽氣速率與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽氣速率之比。

6、壓縮比。泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。

7、返流率。泵在規(guī)定情況下作業(yè)時，與抽氣方向相對而通過泵入口的單位面積、單位時間的泵液的質(zhì)量流率。

8、抽氣系數(shù)。泵的實(shí)際上抽氣速率與泵入口面積按分子瀉流計(jì)算的理論抽氣速率之比。

9、水蒸氣允許量(單位:kg/h)在正常的環(huán)境情況下，氣鎮(zhèn)泵在持續(xù)作業(yè)時能抽除的水蒸氣的質(zhì)量流率。

10、最大允許水蒸氣入口壓力。在正常的環(huán)境情況下，氣鎮(zhèn)泵在持續(xù)作業(yè)時所能抽除的水蒸氣的最高入口壓力。